1.提名：實行由專家學者、組織機構、相關單位提名的制度。提名者包括深圳市政府有關組成部門，各區(qū)政府(大鵬新區(qū)、深汕特別合作區(qū)管委會)科技主管部門;在深圳市范圍內(nèi)(含深汕特別合作區(qū))的高等院校、科研機構，中國科學院院士、中國工程院院士及國家、廣東省、深圳市科技獎項主要完成人，有較強行業(yè)影響力和較高社會知名度且有開展科技獎勵工作經(jīng)驗的專家、學者、企業(yè)、學會、行業(yè)協(xié)會及其他組織。

2.形式審查：相關部門對提名材料進行形式審查，主要核對申請人是否符合申請條件，材料是否齊全，每個材料是否涵蓋材料要求中涉及的內(nèi)容和要素等。對于形式審查不合格的項目，不予提交評審。

3.專家評審：市科技行政主管部門自行組織或者委托專業(yè)機構組織專家開展評審工作。專家評審會對申請項目進行初審和復審。以標準獎為例，標準獎業(yè)務主管部門組織專家評審會對申請項目進行初審和復審，并就專家推薦的擬獎項目名單征求各相關部門意見。

4.審定與公示：根據(jù)專家評審結果和相關部門意見，業(yè)務主管部門審定擬獎名單，并報市科學技術獎勵委員會辦公室向全社會公示。公示期內(nèi)如有異議，將進行調(diào)查處理。

5.市政府審批：公示無異議或異議處理完畢后，擬獎名單報市政府審批，市政府發(fā)布獎勵公告，市財政部門撥付獎勵資金。